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優(yōu)點(diǎn): n 適用范圍廣,適用于金屬、非金屬、復(fù)合材料等材料; n 缺陷定位較準(zhǔn)確; n 對(duì)面積型缺陷敏感; n 靈敏度高; n 成本低、速度快、對(duì)人體、環(huán)境無(wú)害; 超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來(lái)檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。
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